簡(jiǎn)要介紹無(wú)塵室黃光區(qū)施工
無(wú)塵室黃光區(qū)施工是針對(duì)半導(dǎo)體、面板顯示（如 LCD/OLED）等精密制造領(lǐng)域的特殊潔凈施工，核心是在高潔凈度環(huán)境中，通過(guò) “黃光照明 + 防微粒 / 防交叉污染管控”，保障光刻等核心工藝相關(guān)設(shè)施（如設(shè)備基礎(chǔ)、管線、潔凈墻體）的安裝精度與環(huán)境穩(wěn)定性，具體可簡(jiǎn)要概括為以下 3 點(diǎn)：
1.核心環(huán)境要求：黃光照明 + 嚴(yán)苛潔凈度
因光刻膠對(duì)藍(lán)光、紫外光敏感，施工區(qū)域需全程采用波長(zhǎng) 500-600nm 的黃光照明，避免光源影響后續(xù)工藝材料；同時(shí)需維持 Class 10-Class 1000（每立方米微粒數(shù)≤10-1000 個(gè)）的潔凈度，施工人員需穿防靜電無(wú)塵服、經(jīng)風(fēng)淋室除塵，所有施工工具、材料需提前在潔凈區(qū) “清潔除微?！?后入場(chǎng)。
2.關(guān)鍵施工管控：防污染 + 高精度
施工全程圍繞 “防微粒、防化學(xué)污染、保精度” 展開(kāi)：比如管線焊接（如氣體管道）需用無(wú)塵焊接設(shè)備，避免焊渣殘留；墻體 / 地面安裝采用 “密封式拼接”，縫隙用專用無(wú)塵密封膠填充，防止微粒積聚；設(shè)備基礎(chǔ)澆筑需控制平整度誤差在 ±0.1mm 內(nèi)，適配精密光刻設(shè)備的安裝需求，且所有施工廢料需實(shí)時(shí)密封清運(yùn)，避免污染擴(kuò)散。
3.適配工藝需求：與生產(chǎn)流程協(xié)同
黃光區(qū)多為生產(chǎn)核心區(qū)，施工需與車間整體潔凈系統(tǒng)（如 FFU 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元、排風(fēng)系統(tǒng)）同步調(diào)試，確保施工后區(qū)域的溫濕度（通常 23±2℃、濕度 45%-55%）、壓差（相對(duì)相鄰區(qū)域正壓 5-10Pa）符合工藝標(biāo)準(zhǔn)；部分施工需在 “設(shè)備搬入前預(yù)安裝”，避免后期設(shè)備進(jìn)場(chǎng)時(shí)破壞潔凈環(huán)境，保障施工后可快速銜接生產(chǎn)。
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